[发明专利]检查三通阀装置是否存在泄漏的检查装置和检查方法在审
| 申请号： | 201980019766.5 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111868494A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 池上广高 | 申请（专利权）人： | 伸和控制工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是一种检查装置，其具有：检查台，其支承第1开口和第2开口被密封用零件密封的状态的三通阀装置；连通部，其设置成贯穿检查台，在三通阀装置支承于检查台的状态下，该连通部与第3开口气密地连通；包围体，其覆盖三通阀装置而形成除连通部以外的密闭空间；氦气供给路径，其经由连通部和第3开口向三通阀装置内供给氦气；检漏仪装置，其判定是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏；以及氦气吸排路径，其用于经由第3开口和连通部抽吸并排出氦气。氦气吸排路径将压缩空气路径的一部分与连通孔连通，利用压缩空气的流动作为吸引力来将三通阀装置内的氦气引入压缩空气路径。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 三通阀 装置 是否 存在 泄漏 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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