[发明专利]透明氧化物层叠膜、透明氧化物层叠膜的制造方法和透明树脂基板在审
| 申请号： | 201980019836.7 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111868293A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 桑原正和;仁藤茂生 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;B32B15/08;B32B15/09;C04B35/453;C04B35/457 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;胡玉美 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有优异的透明性、良好的水蒸气阻隔性能、以及耐化学试剂性的透明氧化物层叠膜及其制造方法、以及使用该透明氧化物层叠膜的透明树脂基板。一种透明氧化物层叠膜，将多层含有Zn和Sn的透明氧化物膜层叠而成，所述透明氧化物层叠膜由各层中Zn与Sn的金属原子数比不同的非晶质透明氧化物膜构成。此外，一种透明氧化物层叠膜的制造方法，使用由Sn‑Zn‑O系氧化物烧结体构成的靶进行溅射，至少使用第1靶和第2靶来形成透明氧化物层叠膜，所述第1靶具有以金属原子数比计Sn/(Zn+Sn)为0.18以上0.29以下的氧化物烧结体，所述第2靶具有以金属原子数比计Sn/(Zn+Sn)为0.44以上0.90以下的氧化物烧结体。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 氧化物 层叠 制造 方法 树脂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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