[发明专利]用于压力测量和温度测量的传感元件有效

专利信息
申请号: 201980020299.8 申请日: 2019-03-19
公开(公告)号: CN111886486B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 约翰森·坦贾亚;沃尔夫冈·施赖伯-普里尔维茨 申请(专利权)人: TDK电子股份有限公司
主分类号: G01L9/00 分类号: G01L9/00;G01K7/16;G01L19/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王逸君;丁永凡
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种用于压力测量和温度测量的传感元件(2a,2b),包括:具有膜(110)和围绕所述膜(110)设置的边缘区(120)的基体(100)。传感元件(2a,2b)还包括能导电的层(10),其具有设置在基体(100)的膜(110)之上的第一区域(11)和设置在基体(100)的边缘区(120)之上的第二区域(12)。所述膜(110)构成为基体(100)的压敏区,并且边缘区(120)构成为基体(100)的非压敏区。所述能导电的层(10)在第二区域(12)中结构化为,使得在能导电的层的第二区域(12)中构成至少一个与温度相关的电阻(20)。
搜索关键词: 用于 压力 测量 温度 传感 元件
【主权项】:
暂无信息
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