[发明专利]用于压力测量和温度测量的传感元件有效
| 申请号： | 201980020299.8 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111886486B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 约翰森·坦贾亚;沃尔夫冈·施赖伯-普里尔维茨 | 申请（专利权）人： | TDK电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01K7/16;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王逸君;丁永凡 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于压力测量和温度测量的传感元件(2a，2b)，包括：具有膜(110)和围绕所述膜(110)设置的边缘区(120)的基体(100)。传感元件(2a，2b)还包括能导电的层(10)，其具有设置在基体(100)的膜(110)之上的第一区域(11)和设置在基体(100)的边缘区(120)之上的第二区域(12)。所述膜(110)构成为基体(100)的压敏区，并且边缘区(120)构成为基体(100)的非压敏区。所述能导电的层(10)在第二区域(12)中结构化为，使得在能导电的层的第二区域(12)中构成至少一个与温度相关的电阻(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压力 测量 温度 传感 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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