[发明专利]用于压力测量和温度测量的传感元件有效
申请号: | 201980020299.8 | 申请日: | 2019-03-19 |
公开(公告)号: | CN111886486B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 约翰森·坦贾亚;沃尔夫冈·施赖伯-普里尔维茨 | 申请(专利权)人: | TDK电子股份有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01K7/16;G01L19/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王逸君;丁永凡 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于压力测量和温度测量的传感元件(2a,2b),包括:具有膜(110)和围绕所述膜(110)设置的边缘区(120)的基体(100)。传感元件(2a,2b)还包括能导电的层(10),其具有设置在基体(100)的膜(110)之上的第一区域(11)和设置在基体(100)的边缘区(120)之上的第二区域(12)。所述膜(110)构成为基体(100)的压敏区,并且边缘区(120)构成为基体(100)的非压敏区。所述能导电的层(10)在第二区域(12)中结构化为,使得在能导电的层的第二区域(12)中构成至少一个与温度相关的电阻(20)。 | ||
搜索关键词: | 用于 压力 测量 温度 传感 元件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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