[发明专利]研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法有效
| 申请号： | 201980020537.5 | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN112272600B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 月形扶美子;前泽明弘;南条崇 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡美能达株式会社 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 贾成功 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供用于从加工完的研磨剂浆料中有效率地回收研磨剂、将其作为再生研磨剂浆料而再利用的研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法。本发明的研磨剂再循环处理系统控制用于研磨的研磨剂浆料中的研磨剂的构成成分和被研磨物的构成成分的浓度，且继续研磨加工，从加工完的研磨剂浆料中将被研磨物的构成成分除去，将研磨剂回收·再生，其特征在于，具有：研磨加工工序部；和具有浆料供给罐的研磨剂浆料回收工序部，所述浆料供给罐贮存用于研磨的研磨剂，一边进行控制以使浆料供给罐中的研磨剂的构成成分的浓度成为研磨加工工序开始时的初期浓度以下，一边向浆料供给罐中供给再生研磨剂浆料。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨剂 再循环 处理 系统 回收 再生 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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