[发明专利]静电吸盘和基板处理设备

摘要

公开一种静电吸盘和基板处理设备。本公开内容的静电吸盘使用静电力来固持设置于该静电吸盘的前侧处的基板，且包括：基座；层压于该基座的前表面上的电介质主体；以及设置在该电介质主体中的电极，其中该基座包括第一热交换部分，其包括第一凸出部分和第一凹入部分，所述第一凸出部分和第一凹入部分部分地或全部重复地布置在该基座的与该电介质主体相对的表面上以增大该基座的表面积。根据本公开内容，用作静电吸盘的主体的基座经形成而具有有利于冷却的形状，且冷却剂充当该基座的一部分。因此，本公开内容可提供一种静电吸盘和基板处理设备，其可经由该静电吸盘自身实现迅速温度控制。