[发明专利]低溅射交叉场气体开关及操作方法在审
| 申请号： | 201980021415.8 | 申请日： | 2019-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN111868872A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | T·J·索默雷尔;S·塞列斯内瓦 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | H01J17/14 | 分类号： | H01J17/14;H01T1/04;H01T2/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蔡宗鑫;刘茜 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种气体开关包括含有可电离气体的气密外壳、设置在气密外壳内的阳极和设置在气密外壳内的阴极，其中阴极包括传导表面。气体开关还包括定位在阳极和阴极之间的控制栅极，其中控制栅极布置成接收偏置电压以在阳极和阴极之间建立导电等离子体。此外，气体开关包括多个磁体，这些磁体选择性地布置成在传导表面附近产生磁场，该磁场减少撞击传导表面的带电粒子的动能，并将在阴极表面处的传导电流密度升高到技术上有用的水平。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 交叉 气体 开关 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通用电气公司，未经通用电气公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980021415.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高可视性尼龙纤维纺织品及其用途
- 下一篇：核-壳型聚合物颗粒
