[发明专利]感光性树脂组合物及其制造方法、抗蚀剂膜、图案形成方法以及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201980021461.8 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111902773A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 山本庆;大石康史;丹吴直紘;高桥秀知 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种感光性树脂组合物及其制造方法以及使用上述感光性树脂组合物而成的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，该感光性树脂组合物包含烯属不饱和化合物、通过酸的作用而极性增大的树脂及金属原子，上述金属原子的含量的合计相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppt以上且30ppb以下，上述烯属不饱和化合物的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为0.0001质量％以上且1质量％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 制造 方法 抗蚀剂膜 图案 形成 以及 电子器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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