[发明专利]控制EUV光源中的碎片的装置和方法在审
| 申请号： | 201980021477.9 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111903195A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | M·G·兰格洛斯;R·G·M·兰斯博根;M·H·A·里恩德斯;H·G·泰格波什 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了一种EUV系统，该EUV系统包括用于以液体形式累积目标材料碎片的措施，其中目标材料被阻隔喷吐到光学元件上，并且在其中可以引起目标材料固化并且然后传送到目标材料可以被熔融并且被允许排掉而不会污染收集器的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 euv 光源 中的 碎片 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980021477.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：气体燃料的冷却系统及燃气涡轮机设备
- 下一篇：轧机及轧机的控制方法
