[发明专利]微粒分析装置、微粒分析系统以及清洗方法有效
| 申请号： | 201980021602.6 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN111902710B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 熊野峻;永野久志;伊藤孝广;水野弘基;野尻辰夫;杉山益之 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G01N1/00 | 分类号： | G01N1/00;B01D45/12;B04C5/14;B04C5/20;B04C5/22;B04C9/00;G01N27/60;G01N27/62 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部，该微粒分析装置的特征在于，具有：旋流集尘机(14)；一级过滤器(16)，其与旋流集尘机(14)的下游连接，并被加热；气体分析装置(31)，其与一级过滤器(16)连接；气体配管部，其将旋流集尘机(14)与气体分析装置(31)连接，并设置有一级过滤器(16)；以及清洗气体导入装置(21)，其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘机(14)中的至少一方导入清洗气体，在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时，与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒 分析 装置 系统 以及 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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