[发明专利]图案边缘检测方法在审
| 申请号： | 201980021715.6 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111902844A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 大家政洋 | 申请（专利权）人： | 塔斯米特株式会社 |
| 主分类号： | G06T7/13 | 分类号： | G06T7/13;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 日本神奈川县横浜*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制作由多个图像与对应的多个图案边缘构成的训练数据候选，通过从训练数据候选排除满足预先确定的不合格条件的图案边缘和对应的图像，从而确定训练数据，使用训练数据，通过机器学习而生成边缘检测模型，生成其他图案的图像，使用边缘检测模型来检测图像上的其他图案的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 边缘 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于塔斯米特株式会社，未经塔斯米特株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980021715.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
