[发明专利]表面处理设备在审
| 申请号： | 201980021776.2 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111936663A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 马田拓实;新垣之启 | 申请（专利权）人： | 杰富意钢铁株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 满凤;金龙河 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够抑制被成膜材料的抖动的表面处理设备，该表面处理设备通过PVD法在沿纵向输送的被成膜材料的两表面上连续地进行成膜。上述表面处理设备具有腔室，通过PVD法在沿纵向在上述腔室内输送的被成膜材料的两表面上连续地进行成膜，其中，该表面处理设备还具备输送上述被成膜材料的输送机构以及在上述腔室内的上述被成膜材料的两表面侧沿纵向吹送成膜气体的送风机构，将上述成膜气体的风速以米/分钟的单位设为X、将上述被成膜材料的输送速度以米/分钟的单位设为Y时，以X/Y表示的比在0.4～3.0的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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