[发明专利]试样观察装置和试样观察方法有效
| 申请号： | 201980021841.1 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111902761B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 山本谕 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G01N21/47;G01N21/64;G02B21/26;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;王昊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 试样观察装置(1)包括：用于在XZ面上对试样S照射平面光L2的照射光学系统(3)；以通过平面光L2的照射面R的方式在Y轴方向上扫描试样S的扫描部(4)；具有相对于照射面R倾斜的观察轴P2、使在试样S上产生的观察光L3成像的成像光学系统(5)；用于获取多个与观察光L3的光学图像对应的XZ图像数据(31)的图像获取部(6)；和基于多个XZ图像数据(31)，生成XY图像数据(32)的图像生成部(8)，图像生成部(8)提取关于Y轴方向获取的多个XZ图像数据(31)中的解析区域，至少在Z轴方向上累计解析区域F的亮度值，生成X图像数据(33)，在Y轴方向上组合X图像数据(33)以生成XY图像数据(32)。 | ||
| 搜索关键词： | 试样 观察 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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