[发明专利]非晶金属薄膜晶体管在审
| 申请号： | 201980022121.7 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111919302A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 肖恩·威廉·缪尔 | 申请（专利权）人： | 非结晶公司 |
| 主分类号： | H01L29/49 | 分类号： | H01L29/49;H01L29/786;H01L29/417;H01L29/66 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 于未茗 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述了各种非晶金属薄膜晶体管。这种晶体管的实施例包括在非导电衬底上形成的非晶金属栅极和沟道导体。这种晶体管的另外实施例包括在非导电衬底上形成的非晶金属源极、非晶金属漏极以及沟道导体。还描述了形成这种晶体管的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
暂无信息
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