[发明专利]在玻璃基材上形成薄膜晶体管的方法以及由此形成的液晶显示器在审

专利信息
申请号: 201980023272.4 申请日: 2019-03-26
公开(公告)号: CN111937150A 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: M-H·黄;R·B·李;R·瓦迪;朱斌 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;G02F1/1368;G02F1/1333;H01L29/786;H01L21/02;H01L21/3213;H01L21/768
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 张璐;乐洪咏
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 薄膜晶体管(TFT)液晶显示器(LCD)包括在上方的液晶显示层与下方的玻璃基材之间划界的多个图像像素。每个图像像素包括设置在玻璃基材上方的专用顶栅TFT。每个顶栅薄膜晶体管包括设置在玻璃基材上方的工艺敏感性半导体层,以及设置在工艺敏感性半导体层上方的源电极和漏电极。工艺敏感性半导体层在源电极与漏电极之间形成工艺敏感性半导体有源层,并且在工艺敏感性半导体有源层的上方设置有源层保护膜。在源电极与漏电极之间的有源层保护膜上方设置有栅极电介质层,并且在栅极电介质层的上方设置有栅电极。
搜索关键词: 玻璃 基材 形成 薄膜晶体管 方法 以及 由此 液晶显示器
【主权项】:
暂无信息
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