[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 201980023988.4 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111936268B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 松冈立马;栗原浩;鸣岛早月;高见沢大和 | 申请（专利权）人： | 富士纺控股株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;C08G18/10;C08G18/38;C08G18/48;C08G18/76;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京中央区日本桥人形町1丁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种经时研磨速率的稳定性高的研磨垫及其制造方法。研磨垫，包括具有聚氨基甲酸酯片的研磨层，其中在水浴中浸泡3天的湿润状态的所述聚氨基甲酸酯片在初始负荷148g、应变范围0.1％、测定频率1.6Hz、拉伸模式下的20℃～100℃的温度范围内的损耗角正切tanδ峰值 |
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| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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