[发明专利]电镀系统中的基板清洁部件与方法在审
| 申请号： | 201980024457.7 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN112074625A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 诺兰·齐默曼;格雷格·威尔逊;安德鲁·安滕;理查德·W·普拉维达尔;艾里克·J·伯格曼;特里西亚·扬布尔;蒂莫西·G·斯托特;李山姆 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/08 | 分类号： | C25D21/08;C25D17/04;H01L21/67;C25D17/00;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于清洁电镀系统部件的系统，可包括电镀设备，其中电镀设备包括电镀浴槽。电镀设备可包括在电镀浴槽的上方延伸的清洗框架。清洗框架可包括缘部(rim)，缘部沿着电镀浴槽的上表面的边缘延伸，并在缘部与电镀浴槽的上表面之间界定清洗通道(rinsing channel)。电镀设备也可包括清洗组件，清洗组件包括可从凹入的第一位置转移至第二位置中的防溅件(splash guard)，此第二位置至少部分延伸穿过电镀浴槽的通口(access)。清洗组件也可包括从清洗框架延伸的流体喷嘴(fluid nozzle)。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 系统 中的 清洁 部件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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