[发明专利]化学机械研磨机中的耗材部件监控有效
| 申请号： | 201980024571.X | 申请日： | 2019-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111936267B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·H·奥斯特赫尔德;多米尼克·J·本维奴 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/20;B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 研磨设备包括：用于保持研磨垫的研磨站；用于在研磨站处保持基板与研磨垫接触的载体头；定位成当耗材部件移动远离研磨垫时拍摄耗材部件的下表面的影像的相机；以及经构造以对影像执行影像处理算法以确定耗材部件是否损坏的控制器。耗材部件可为承载头上的保持环或调节器头上的调节器盘。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨机 中的 耗材 部件 监控 | ||
【主权项】：
暂无信息
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