[发明专利]部分密封的离子引导器和离子束沉积系统在审
| 申请号： | 201980024674.6 | 申请日： | 2019-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN111937116A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 托比亚斯·卡波西;哈特穆特·施利希廷;约翰内斯·巴斯;安德烈亚斯·沃尔兹 | 申请（专利权）人： | 慕尼黑科技大学 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种用于沿着离子路径引导离子束的离子引导器(32)，所述离子引导器(32)具有与所述离子路径相对应的纵向轴线(48)。所述离子引导器(32)包括垂直于纵向轴线(48)布置的多个电极板(44)，每个电极板(44)具有开口并且被布置成使得所述纵向轴线(48)延伸穿过其各自的开口，其中所述开口共同限定离子引导器容积(49)。离子引导器(32)延伸或被配置成延伸穿过将相邻的第一泵送室(12)和第二泵送室(14)分开的分离壁(20)。离子引导器(32)具有第一部分(52)，在所述第一部分中，在所述电极板(44)中的至少一些之间形成间隙，使得不带电荷的气体能够从所述离子引导器容积(49)逸出，其中所述第一部分(52)完全位于所述第一泵送室(12)中。第二部分(54)防止中性气体在相邻的电极板(44)之间从离子引导器容积(49)逸出，在所述第二部分中，密封元件(46)被布置在相邻的电极板(44)之间，所述第二部分(54)至少从所述分离壁(20)延伸到所述第二泵送室(14)中。 | ||
| 搜索关键词： | 部分 密封 离子 引导 离子束 沉积 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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