[发明专利]涂布膜形成组合物和半导体装置的制造方法在审
| 申请号： | 201980024774.9 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111936588A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 西田登喜雄;坂本力丸;染谷安信;岸冈高广 | 申请（专利权）人： | 日产化学株式会社 |
| 主分类号： | C09D139/04 | 分类号： | C09D139/04;C09D7/20;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/532 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供涂布膜形成组合物和使用了其的半导体装置的制造方法，所述涂布膜形成组合物包含：(a)含有由下述式(1a)或(1b)表示的结构单元的聚合物，和(b)包含1～49质量％的选自丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚、2‑羟基异丁酸甲酯、3‑乙氧基丙酸乙酯和乳酸乙酯中的至少1种的有机溶剂和51～99质量％的水的溶剂。 |
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| 搜索关键词： | 涂布膜 形成 组合 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D139-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以连接氮的单键或双键，或以含氮杂环作为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D139-02 .乙烯胺的均聚物或共聚物
C09D139-04 .含有以氮为环原子的杂环单体的均聚物或共聚物
C09D139-06 ..N-乙烯基吡咯烷酮的均聚物或共聚物
C09D139-08 ..乙烯基吡啶的均聚物或共聚物
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D139-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以连接氮的单键或双键，或以含氮杂环作为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D139-02 .乙烯胺的均聚物或共聚物
C09D139-04 .含有以氮为环原子的杂环单体的均聚物或共聚物
C09D139-06 ..N-乙烯基吡咯烷酮的均聚物或共聚物
C09D139-08 ..乙烯基吡啶的均聚物或共聚物
