[发明专利]刻划装置以及刻划装置所具备的工具更换机构

摘要

进一步提高刻划装置的生产率、工具的互换性、以及万全功能。本发明的刻划装置(1)具有：载置设备(3)，其载置脆性材料基板(2)；刻划头(7)，其与载置设备(3)上的脆性材料基板(2)对置设置；保持器接头(19)，其设置于刻划头(7)的前端；工具(8)，其装卸自如地安装于保持器接头(19)，在脆性材料基板(2)形成刻划线；以及工具更换机构(30)，其将使用后的工具(8)更换成其他的工具(8)，工具更换机构(30)具有：移去器(41)，其从保持器接头(19)卸下工具(8)；盒(31)，其收容多个工具(8)；以及转移嘴(81)，其使工具(8)在移去器(41)与盒(31)之间移动，转移嘴(81)通过空气抽吸吸附工具(8)。