[发明专利]靶及靶的生产方法在审
| 申请号： | 201980026624.1 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN112236541A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 皮特·波尔契克 | 申请（专利权）人： | 普兰西复合材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C04B35/58;C04B35/645;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 王蕊;赵洁 |
| 地址： | 德国滨湖*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种用于物理气相沉积的靶，所述靶具有以下化学成分：‑以下化合物中的至少两种化合物的混合物：二硼化钽(TaB |
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| 搜索关键词： | 生产 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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