[发明专利]用于基于压力衰减速率来进行质量流量校验的方法、系统和设备在审
| 申请号： | 201980028315.8 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN112020689A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 叶祉渊;贾斯汀·霍夫;玛塞勒·E·约瑟夫森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F25/00;G01F1/80 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 质量流量校验系统和设备基于压力衰减原理来校验质量流量控制器(MFC)的质量流率。实施方式包括用于在管线中耦合经校准的气体流量标准器或待测试的MFC以从气源接收气流的位置；串联耦合到管线中的所述位置以接收气流的控制体积；串联耦合到控制体积的限流器；串联耦合到限流器的泵；和控制器，经适配以允许气源使气体流过质量流量控制校验系统，以在控制体积中达到稳定的压力、终止来自气源的气流，并且随着时间测量控制体积中的压力衰减速率。公开了许多额外的方面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 压力 衰减 速率 进行 质量 流量 校验 方法 系统 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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