[发明专利]电吸收调制器在审

专利信息
申请号: 201980028386.8 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN112204459A 公开(公告)日: 2021-01-08
发明(设计)人: 余国民;A·J·齐尔基 申请(专利权)人: 洛克利光子有限公司
主分类号: G02F1/017 分类号: G02F1/017;G02F1/025
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 瞿文慧;陈岚
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种光电子设备,包括:绝缘体上硅(SOI)衬底,衬底包括:硅支撑层;在硅支撑层的顶部上的掩埋氧化物(BOX)层;以及在BOX层的顶部上的硅设备层;波导区,其中硅设备层的一部分和BOX层的在该设备层的该部分下方的一部分已经被去除,BOX层的该部分已经用在硅的顶部上的结晶氧化物的层和硅层替代;以及波导结构,其直接位于结晶氧化物层的顶部上,波导结构包括P掺杂区和N掺杂区,P掺杂区和N掺杂区中间具有本征区,从而产生PIN结,跨PIN结能够施加偏压以产生调制区。
搜索关键词: 吸收 调制器
【主权项】:
暂无信息
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