[发明专利]电吸收调制器在审
申请号: | 201980028386.8 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN112204459A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 余国民;A·J·齐尔基 | 申请(专利权)人: | 洛克利光子有限公司 |
主分类号: | G02F1/017 | 分类号: | G02F1/017;G02F1/025 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 瞿文慧;陈岚 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种光电子设备,包括:绝缘体上硅(SOI)衬底,衬底包括:硅支撑层;在硅支撑层的顶部上的掩埋氧化物(BOX)层;以及在BOX层的顶部上的硅设备层;波导区,其中硅设备层的一部分和BOX层的在该设备层的该部分下方的一部分已经被去除,BOX层的该部分已经用在硅的顶部上的结晶氧化物的层和硅层替代;以及波导结构,其直接位于结晶氧化物层的顶部上,波导结构包括P掺杂区和N掺杂区,P掺杂区和N掺杂区中间具有本征区,从而产生PIN结,跨PIN结能够施加偏压以产生调制区。 | ||
搜索关键词: | 吸收 调制器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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