[发明专利]具有改进的精度的热式质量流量传感器在审
| 申请号： | 201980028467.8 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN112020690A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·V·斯米尔诺夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了质量流量控制器和用于控制质量流量控制器的方法。方法包括：提供气体通过质量流量控制器的热式质量流量传感器；以及处理来自质量流量控制器的热式质量流量传感器的流量传感器信号以产生测量流量信号。在气体的流量变化时，通过对测量流量信号逐渐应用非线性校正来校正测量流量信号以产生校正后的流量信号。使用校正后的流量信号和设置点信号来控制质量流量控制器的阀。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 精度 质量 流量传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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