[发明专利]大面积微波等离子体CVD设备和用于提供这种沉积的对应方法在审
| 申请号： | 201980029395.9 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN112088419A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 胡斯塔斯·扎列卡斯 | 申请（专利权）人： | 挪威西部创新股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 董敏;李新燕 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种大面积微波等离子体化学气相沉积LA MPCVD反应器设备和用于大面积微波化学气相沉积的方法，包括反应器室和CRLH波导部段，该反应器室适于通过第一频率的电磁能在反应器室的内部中提供等离子体区域，该CRLH波导部段适于在无限波长下以第一频率工作并在壁中具有耦合器装置，该耦合器装置布置成将电磁能从CRLH波导部段的内部耦合至反应器室的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 微波 等离子体 cvd 设备 用于 提供 这种 沉积 对应 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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