[发明专利]物理量检测装置

摘要

本发明的物理量检测装置能够减少加热状态切换后、流量变化后的精度降低。物理量检测装置具备：流量测定元件，其具有发热体，测定被测量流体的流量；发热体控制部，其将发热体的控制状态切换为发热状态或发热抑制状态中的某一个；以及信号处理部，其包含缓冲器及频率分析块，使用频率分析块计算出的主频率来处理流量测定元件的测定值，在缓冲器中记录有过去规定的期间内的测定值，频率分析块通过对记录在缓冲器中的测定值进行频率分析来计算出主频率，信号处理部在检测到事件的发生时，在从事件的发生起的规定的期间内，使用之前刚刚计算出的主频率来进行运算，事件是指测定值的急剧变化、以及发热体控制部进行的控制状态的切换。