[发明专利]用于具有多重电子束的系统的电荷控制装置有效
| 申请号： | 201980029660.3 | 申请日： | 2019-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN112074925B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | C·西尔斯;L·葛瑞拉 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/14 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示聚焦及对准多重电子束的系统及方法。相机产生投射在具有多个目标的光纤阵列处的来自电子束的光的图像数据。图像处理模块基于所述图像数据确定对施加到中继透镜、场透镜或多极阵列的电压的调整。所述调整最小化所述电子束中的一者的位移、散焦或像差中的至少一者。使用控制模块，将所述电压施加到所述中继透镜、所述场透镜或所述多极阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 具有 多重 电子束 系统 电荷 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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