[发明专利]氧化物间隔HCG VCSEL及其制造方法在审
| 申请号： | 201980030047.3 | 申请日： | 2019-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN112219327A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 常瑞华;凯文·T·库克;祁继鹏;王嘉星 | 申请（专利权）人： | 加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;钟海胜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 高对比度光栅(HCG)结构和制造方法。HCG的光栅形成在结构间隔层上，使得在光栅元件下方的空气间隔上进行制造时允许较宽范围的缺乏结构支撑的光栅图案，如柱和其他形式。该技术涉及蚀刻HCG光栅，然后穿过该HCG将光栅氧化成在其下方的氧化物间隔层，从而在该光栅下方形成低折射率区域。这种形式的HCG反射器能够被用作在制造垂直腔面发射激光器(VCSEL)中的上反射器和/或下反射器。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 间隔 hcg vcsel 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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