[发明专利]磁性隧道结结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201980030970.7 | 申请日： | 2019-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN112166509A | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 薛林;程志康;汪荣军;马亨德拉·帕卡拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L43/10 | 分类号： | H01L43/10;H01L43/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本文讨论的磁性隧道结(MTJ)结构的实施方式采用了铬(Cr)、NiCr、NiFeCr、RuCr、IrCr或CoCr或前述的组合的一或多个层的种晶层。这些种晶层与一或多个钉扎层组合使用，与该种晶层接触的第一钉扎层可含有钴的单层，或可含有钴与钴及铂(Pt)、铱(Ir)、镍(Ni)或钯(Pd)的双层的组合。第二钉扎层可为与第一钉扎层相同的成分和配置，或与之不同的成分或配置。本文讨论的MTJ堆叠在高温退火后维持期望的磁特性。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 隧道 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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