[发明专利]用于去除电镀系统内的污染物的系统及方法在审
| 申请号： | 201980031370.2 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN112135932A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 鲁宽旭;保罗·麦克休;李山姆;凯尔·M·汉森;马文·L·伯恩特;比欧·金 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D21/18 | 分类号： | C25D21/18;C25D5/18;C25D21/06;C25D17/00;C25D17/02;C25D3/30 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本技术的电镀系统可包括双浴槽电镀腔室，此双浴槽电镀腔室包括分隔器，配置成用以提供第一浴槽及第二浴槽之间的流体分离，此第一浴槽配置成用以在作业期间保持阴极电解液，此第二浴槽配置成用以在作业期间保持阳极电解液。此系统可包括阴极电解液槽，与此浴槽电镀腔室的此第一浴槽流体地耦接。此系统也可包括污染物提取系统，配置成用以去除此阴极电解液的污染物离子。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 去除 电镀 系统 污染物 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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