[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201980032162.4 | 申请日： | 2019-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN112154313B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 滨崎良平;辻大喜 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器(40)具有：基底构件(12)；膜片(18)，其以与基底构件(12)隔开间隔的方式配置；第一固定电极(14)，其以与膜片(18)相向的方式设置于基底构件(12)，该第一固定电极(14)具备电介质层(24)；以及第二固定电极(16)，其以与膜片(18)相向的方式设置于基底构件(12)。当作用于膜片(18)的压力(Pin)增加而膜片(18)朝向基底构件(12)弯曲时，在膜片(18)与第二固定电极(16)之间的距离变为恒定之前，膜片(18)会与第一固定电极(14)的电介质层(24)接触。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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