[发明专利]CVD设备的设有特征标识的构件和用于传输信息的方法在审
| 申请号： | 201980032872.7 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN112119395A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | M.J.博德;T.施密特;M.C.弗兰克;M.莫宁 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | G06K7/08 | 分类号： | G06K7/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于向处理控制器(15)传输信息的方法，所述具有下列方法步骤，提供构件(10，11，12，13)，所述构件借助构造的体积区域设有可机器读取的特征标识(16)。在加热构件(10，11，12，13)时结构(7，8，9)在红外线范围内发光，使得所述结构能够被红外线传感器(14)区分。由隆起(7)或凹陷(8)构成的结构形成可机器读取的标识(16)，所述标识能用作真实性标记。当所述标识(16)在原位通过加热可被测得时，处理控制器(15)能够识别是否使用修正值来实施对基板(6)的热处理。 | ||
| 搜索关键词： | cvd 设备 设有 特征 标识 构件 用于 传输 信息 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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