[发明专利]瞬时椭偏仪或散射仪及相关测量方法在审
| 申请号： | 201980032892.4 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN112236666A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 奥利维耶·阿谢;亚历山大·波佐罗夫;坦-连·源;布利斯·维利埃;杰拉尔丁·梅里齐;简-保罗·加斯东 | 申请（专利权）人： | 堀场（法国）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/47;G01J3/447;G01J4/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 刘丹 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及椭偏仪或散射仪，包括光源(1)；偏振器(5)；光学照明系统(2，4)，适于朝向样品(6)引导入射偏振光束(11)；光波前分束器(20)，被布置为接收通过反射、透射或衍射产生的次级光束(12)，所述光波前分束器(20)被定向为形成三个准直分离光束；光学偏振修改装置(25)和光学偏振分离装置(26)，形成六个角度分离的光束；检测系统，适合于检测六个分离的光束；以及处理系统，适合于从中推导出椭圆偏振或散射测量。 | ||
| 搜索关键词： | 瞬时 椭偏仪 散射 相关 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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