[发明专利]六方氮化硼膜的合成和转移方法在审
| 申请号： | 201980033187.6 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN112188992A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 王睿智;斯蒂芬·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 剑桥企业有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/064 | 分类号： | C01B21/064;C01B35/14;C04B35/583;C23C16/34;C23C16/455;C08K3/38 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 赵艳 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种通过化学气相沉积在基底上生产六方氮化硼的方法，所述方法包括：(a)在第一温度下加热所述基底长达第一时间的步骤；(b)在第二温度下在前体的第一分压下将所述基底暴露到包含硼的前体和包含氮的前体长达第二时间的步骤，其中将单一前体用作包含硼的前体和包含氮的前体或将不同前体用作包含硼的前体和包含氮的前体；(c)在不具有前体的情况下在第三温度下加热所述基底长达第三时间的步骤；和(d)在第四温度下在前体的第二分压下将所述基底暴露到所述前体长达第四时间的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 合成 转移 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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