[发明专利]具有耦合钉扎层晶格匹配的磁性隧道结在审
| 申请号： | 201980033383.3 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN112136223A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 薛林;程志康;汪荣军;马亨德拉·帕卡拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L43/08 | 分类号： | H01L43/08;H01L43/10;H01L43/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文讨论的磁性隧道结(MTJ)结构的实施方式采用第一钉扎层及第二钉扎层，且两者之间设置有合成反铁磁层。与种晶层接触的第一钉扎层可含有单独的铂或钯的单层，或者铂或钯的单层与钴和以下项的一或多个双层结合：铂(Pt)、镍(Ni)或钯(Pd)或前述的组合或前述的合金。第一钉扎层及第二钉扎层可具有不同的成分或构造，使得第一钉扎层具有比第二钉扎层更高的磁性材料含量，和/或比第二钉扎层更厚。本文讨论的MTJ堆叠在高温退火后维持了期望的磁性质。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 耦合 钉扎层 晶格 匹配 磁性 隧道 | ||
【主权项】：
暂无信息
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