[发明专利]压力检测元件及压力检测装置在审
| 申请号： | 201980034303.6 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN112189130A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 滨崎良平;辻大喜 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力检测元件(16)包括：基板(30)；第1电极(36A)和第2电极(36B)，其设于基板(30)；隔板(32)，其包括第1隔膜部(32A)和第2隔膜部(32B)，该隔板(32)与基板(30)空开间隔地配置；以及间隔构件(34)，其配置于基板(30)和隔板(32)之间，划定第1电极(36A)与第1隔膜部(32A)空开间隔地彼此相对的第1空间(RA)以及第2电极(36B)与第2隔膜部(32B)空开间隔地彼此相对的第2空间(RB)。在沿基板(30)与隔板(32)的相对方向观察时，基板(30)在位于第1隔膜部(32A)和第2隔膜部(32B)之间的部分具备沟槽(30a)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 检测 元件 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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