[发明专利]流体控制装置有效
| 申请号： | 201980035000.6 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN112204255B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 田中伸拓 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | F04B45/04 | 分类号： | F04B45/04;F04B45/047 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 闫月;张丰桥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 流体控制装置(10)具备：壳体(200)，具备具有第一通气口(251)的壳体顶板(220、壳体侧板(230)以及具有第二通气口(260)的壳体底板(210)；泵主体(100)；以及保持部件(300)，将泵主体(100)相对于壳体(200)进行保持。泵主体(100)具备：第一主板(110)、与第一主板(110)的一个主面对置的第二主板(120)、侧板(130)、以及配置于第一主板(110)的驱动部件(115)。第一主板(110)具有配置成圆环状的多个第一开口(101)。第二主板(120)配置在比第一主板(110)靠壳体顶板(220)侧，俯视观察时在与第一通气口(251)重叠的位置具有第二开口(102)。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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