[发明专利]液膜厚度的测定方法、测定装置、以及薄膜的制造方法有效
| 申请号： | 201980035511.8 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN112166297B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 中岛健太;内藤展宽 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 段承恩;李照明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种测定方法和测定装置，其特征在于，利用传感器检测向构件表面的液膜照射光而得到的反射光，并通过使用了曲线拟合的光谱干涉法对检测到的反射光进行分析，由此测定液膜的厚度。能够定量且高精度地测定在各种形状的构件上形成的液膜的厚度。另外，通过基于使用本发明的测定方法和/或测定装置得到的结果，控制拉幅装置的夹轨上的液膜的厚度而制造薄膜，能够抑制与油、金属粉末的飞散相伴的次品的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 测定 方法 装置 以及 薄膜 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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