[发明专利]用于控制高效生成器源阻抗的系统和方法在审
| 申请号： | 201980035790.8 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN112534541A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | G·古罗夫;M·米勒;Z·W·贝纳姆 | 申请（专利权）人： | 先进工程解决方案全球控股私人有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/38;H03H7/40 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王丽军 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种功率供应系统利用两个放大器实时地控制生成器的源阻抗，该两个放大器具有相对于标称负载阻抗非对称的功率分布，其相对于标称负载阻抗是径向相反的。通过对放大器中的每一个使用不同的拓扑或实现相位延迟网络，可实现功率分布中的变化。来自第一和第二放大器的输出功率可使用组合器线路或装置组合，并且来自组合器的输出功率被传送到等离子体负载。每个放大器的输出功率可被独立地控制，以改变由单独的放大器提供的输出功率信号的一个或多个特性。通过改变第一放大器的输出功率与第二放大器的输出功率的比率，生成器的源阻抗可实时变化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 高效 生成器 阻抗 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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