[发明专利]基于多个散射信号的嵌入式粒子深度分级有效
| 申请号： | 201980037368.6 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN112219113B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张海平;A·刚·余 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/47;G01N21/01;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种检验系统，其可包含用于产生照明束的照明源、用于导引所述照明束到样本的照明光学器件。所述系统可进一步包含用于从所述样本收集第一立体角范围内且依第一选定偏振的光的第一收集通道。所述系统可进一步包含用于从所述样本收集第二角范围(第二立体角范围)内且依第二选定偏振的光的第二收集通道。所述系统可进一步包含用于接收两个或更多个散射信号的控制器。所述散射信号可包含具有选定偏振的来自所述第一收集通道及所述第二收集通道的信号。所述控制器可基于比较所述两个或更多个散射信号与训练数据来进一步确定所述样本中缺陷的深度，所述训练数据包含来自具有已知深度处的已知缺陷的训练样本的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 散射 信号 嵌入式 粒子 深度 分级 | ||
【主权项】：
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