[发明专利]用于远程等离子源的自由基输出监控器和使用方法有效
| 申请号： | 201980038899.7 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112335342B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 麦可·哈里斯;戴璆瑛;阿图·古柏塔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人： | 何尤玉;郭仁建 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请记载了一种在处理系统中使用的用于对远程等离子源的等离子源进行自由基监控的装置，并且所述装置包含：至少一个气体源；等离子源主体，所述等离子源主体具有至少一个通道，所述至少一个通道具有至少一个通道表面；第一热传感器收纳器，所述第一热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近；第一热传感器，所述第一热传感器定位在所述第一热传感器收纳器内，所述第一热传感器被配置成测量所述通道表面的第一温度；第二热传感器收纳器，所述第二热传感器收纳器在所述等离子源主体内而形成在所述通道的所述通道表面附近，并且被配置成在第二位置处测量所述通道的所述通道表面的第二温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 远程 离子源 自由基 输出 监控器 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器公司，未经MKS仪器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980038899.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于亲和纯化的工程细胞外囊泡
- 下一篇：容器盖及其制造方法
