[发明专利]一种微机械超声换能器及成像设备有效
申请号: | 201980039393.8 | 申请日: | 2019-03-09 |
公开(公告)号: | CN112368085B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 桑迪普·阿卡拉杰;海星·权;布莱恩·毕考肖 | 申请(专利权)人: | 艾科索成像公司 |
主分类号: | B06B1/02 | 分类号: | B06B1/02;B06B1/06;A61B8/00 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 周小琴;包竹妮 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 微机械超声换能器(MUT)(400)。MUT(400)包括:基板(402);悬置在基板(402)上的膜(406);底部电极(408),其设置在膜(406)上;压电层(410),其设置在底部电极(408)上,并且非对称顶部电极(412、722)设置在压电层(410)上。非对称电极(722)沿轴线(742)的面密度分布具有多个局部最大值(702),其中多个局部最大值(735、737)的位置与振动谐振频率处的多个反节点(516、517)位于的位置(726、728)重合。 | ||
搜索关键词: | 一种 微机 超声 换能器 成像 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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