[发明专利]压印组合物和使用该组合物形成图案化层的方法在审
申请号: | 201980039420.1 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN112272795A | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | M·A·维尔斯储雷恩 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/075;B82Y10/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 柴丽敏 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种溶胶‑凝胶压印油墨组合物,该溶胶‑凝胶压印油墨组合物包含:溶胶和添加剂,该添加剂用于在压印期间在压印温度下促进组合物的凝胶化。当与等体积的去离子水混合并且在20℃和1atm下进行测量时,组合物具有4至7的pH。添加剂是质子酸和接受质子的碱的可逆反应产物。在压印温度下,酸的蒸气压高于碱的蒸气压,使得在压印期间,组合物中的碱的浓度相对于组合物中的酸的浓度增加,从而导致组合物的碱化。进一步公开了一种利用此类溶胶‑凝胶压印油墨组合物形成图案化层的方法,以及分别包括该图案化层的光学元件和蚀刻掩模。 | ||
搜索关键词: | 压印 组合 使用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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