[发明专利]图案化的微流体装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201980039922.4 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN112334229A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | D·E·阿伦;方晔;J·G·林;B·J·帕多可 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭辉;张璐 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造微流体装置(200,201,202,300,301,302,400,401,402)的方法包括以下步骤：将聚合物珠的单层附接到第一基材(210,410)上，将金属氧化物膜沉积到第一基材(210,410)上并沉积在聚合物珠的单层上方，以及移除聚合物珠以形成金属氧化物纳米孔(240,440)的阵列，其中，在纳米孔(240,440)的底部处暴露第一基材(210,410)。所述方法还包括：将有机磷酸酯层沉积到金属氧化物膜上。所述方法还需要将硅烷涂层或丙烯酸酯聚合物沉积到暴露的第一基材(210,410)上。所述方法还包括：使第二基材(220,420)与第一基材(210,410)结合，以将金属氧化物纳米孔(240,440)的阵列包封在第一和第二基材(210,220,410,420)内的腔体中。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 流体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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