[发明专利]磁性隧道结及其制造方法在审
| 申请号： | 201980040112.0 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN112335064A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 薛林;程志康;王晓东;汪荣军;马亨德拉·帕卡拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12;H01L43/08;H01L43/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开内容的实施方式关于用于磁性隧道结堆叠的制造的系统及方法。此制造可经由包括以下步骤中的一或多个的方法发生：(1)在种晶层的沉积之前，在缓冲层沉积在基板上之后加热该基板；(2)在结构阻挡层的沉积之前，在第二钉扎层的沉积之后冷却该基板；(3)在隧道势垒层的沉积期间加热该基板且接着在该隧道势垒层的沉积完成之后冷却该基板；(4)在磁性存储层沉积在该隧道势垒层上之后加热该基板；及(5)在沉积覆盖层的第一夹层之前，在该磁性存储层的沉积之后冷却该基板。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 隧道 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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