[发明专利]用于连接陶瓷和金属的钎焊工艺以及使用其的半导体加工及工业设备在审
申请号: | 201980040126.2 | 申请日: | 2019-05-28 |
公开(公告)号: | CN112805103A | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 阿尔弗雷德·格兰特·埃利奥特;布兰特·D·A·埃利奥特 | 申请(专利权)人: | 沃特洛电气制造公司 |
主分类号: | B22F7/04 | 分类号: | B22F7/04;B23K1/00;B23K35/30;C04B37/02 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 齐梦雅;葛强 |
地址: | 美国密*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 钎焊工艺使用金属碳合金来将陶瓷连接到陶瓷,将陶瓷连接到金属以及将金属连接到金属。连接的制件可用于多种应用中,并且可包括诸如加热器和卡盘的半导体加工设备制件以及具有高度耐磨表面层的工业设备部件。 | ||
搜索关键词: | 用于 连接 陶瓷 金属 钎焊 工艺 以及 使用 半导体 加工 工业 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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