[发明专利]碳化硅单晶及其制造方法有效
申请号: | 201980040774.8 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN112334607B | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 徳田雄一郎;上东秀幸;星乃纪博;土田秀一;镰田功穗 | 申请(专利权)人: | 株式会社电装;一般财团法人电力中央研究所 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B25/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 周欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
在SiC单晶(6)的生长中添加重金属元素,将其添加密度设定为1×10 |
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搜索关键词: | 碳化硅 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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