[发明专利]微机械传感器有效
| 申请号： | 201980041550.9 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN112334779B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | R·舍本;R·艾德;J·瓦尔德曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P1/00 | 分类号： | G01P1/00;G01P1/02;G01P15/125;G01P21/00;B81B5/00;G01C19/5783;G01L9/12;G01P15/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及微机械传感器(100)，具有：‑衬底(10)；‑布置在所述衬底(10)上的罩元件(20)；和‑至少一个垂直于所述罩元件(20)能偏移的振动质量(40)，其中，在腔(30)内部出现相对于周围环境限定下降的内压；其特征在于，‑设有补偿件，该补偿件构造成用于在所述微机械传感器(100)的运行中提供在所述腔(30)中的温度梯度场的均衡。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980041550.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
