[发明专利]用于电子检测的传感器在审
| 申请号： | 201980042576.5 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN112368605A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | I·阿苏林;J·列文;G·埃坦 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01T1/20 | 分类号： | G01T1/20;H01L33/50;H01J37/244;H01J49/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于从物体发射的电子检测的传感器，所述传感器与以特定柱及晶片电压操作的带电粒子束柱一起使用。传感器经配置且可操作以至少减少负离子与传感器的有效区域的相互作用，同时最小化电子能量损失。传感器也经配置且可操作以最小化以下两者：有效区域的阴极发光效率的逐渐劣化、以及在传感器操作期间产生且在整个闪烁体的寿命期间演变的阴极发光的动态改变。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 检测 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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