[发明专利]成膜装置及成膜方法有效
| 申请号： | 201980043138.0 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112334595B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 加藤裕子;矢岛贵浩;中村文生;植喜信;小仓祥吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;B05C9/12;B05C11/10;B05D3/00;B05D3/06;C23C14/12;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种以良好的膜厚分布在基板上形成树脂层的成膜装置。在成膜装置中，冷却台具有支承基板的支承面和与支承面相连的侧面部，构成为被支承面支承的上述基板的外周端从侧面部突出。防附着框部为环状，配置成包围冷却台的侧面部，在与基板的上述外周端相向的位置设有凹部，侧面部被凹部包围。气体供给部向支承面供给含有能量束固化树脂的原料气体。照射源与支承面相向，并向上述支承面照射使能量束固化树脂固化的能量束。真空槽容纳有冷却台、防附着框部、气体供给部以及照射源。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
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